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附1中國(guó)***電子***超純水規(guī)格 GB/T11446.1-1997
| 電阻率
25℃
MΩ*cm | 硅
≤μg/L | 銅
≤μg/L | 鋅
≤μg/L | 鎳
≤μg/L | 鈉
≤μg/L | 鉀
≤μg/L | 氯
≤μg/L | >1μm顆粒
≤個(gè)/ml | 細(xì)菌
≤個(gè)/ml | 硝酸根
≤g/L | 磷酸根
≤μg/L | 硫酸根
≤μg/L | TOC
≤μg/L | EW-I | ≥18* | 2 | 0.2 | 0.2 | 0.1 | 0.5 | 0.5 | 1 | 0.1 | 0.01 | 1 | 1 | 1 | 20 | EW-II | ≥15 ** | 10 | 0 | 0 | 1 | 2 | 2 | 1 | 5 | 0.1 | 1 | 1 | 1 | 100 |
注*（95％時(shí)間不低于17），**（95％ 時(shí)間不低于13）
中國(guó)***電子***超純水GB/TII446.1－1997標(biāo)準(zhǔn) 指標(biāo)\***別 | EW－Ⅰ | EW－Ⅱ | EW－Ⅲ | EW-Ⅳ | 電阻率 MΩ，cm(25℃) | 18以上，（95％時(shí)間）不低于17 | 15，（95％時(shí)間）不低于13 | 12.0 | 0.5 | 全硅，***大值,μg/L | 2 | 10 | 50 | 1000 | ＞1μm微粒數(shù)，***大值，個(gè)/mL | 0.1 | 5 | 10 | 500 | 細(xì)菌個(gè)數(shù)，***大值，個(gè)/mL | 0.01 | 0.1 | 10 | 100 | 銅，***大值，μg/L | 0.2 | 1 | 2 | 500 | 鋅，***大值，μg/L | 0.2 | 1 | 5 | 500 | 鎳，***大值，μg/L | 0.1 | 1 | 2 | 500 | 鈉，***大值，μg/L | 0.5 | 2 | 5 | 1000 | 鉀，***大值，μg/L | 0.5 | 2 | 5 | 500 | 氯，***大值，μg/L | 1 | 1 | 10 | 1000 | 硝酸根，***大值，μg/L | 1 | 1 | 5 | 500 | 磷酸根，***大值，μg/L | 1 | 1 | 5 | 500 | 硫酸根，***大值，μg/L | 1 | 1 | 5 | 500 | 總有機(jī)酸，***大值，μg/L | 20 | 100 | 200 | 1000 |
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標(biāo)準(zhǔn)規(guī)范
