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01 為什么【水】會(huì)卡芯片制造的脖子? 如果看官你不是電子***域純水行業(yè)的人士,你可能會(huì)奇怪:水,怎么會(huì)卡芯片制造的脖子?就算我國(guó)缺水,還能缺到不夠芯片制造用水的地步嗎?當(dāng)然不是水量不夠,而是水質(zhì)達(dá)不到要求,也就是水不夠純凈。 02 芯片制造的用水,需要純凈到什么地步? 對(duì)于大眾來(lái)說(shuō),平時(shí)接觸的自來(lái)水(飲用水)的渾濁度小于1NTU(根據(jù)現(xiàn)行《生活飲用水衛(wèi)生標(biāo)準(zhǔn)》GB 5749-2006)。這樣的自來(lái)水在肉眼看來(lái),就已經(jīng)非常干凈了。但是,這在電子行業(yè),尤其是高端芯片制造***域,還差得遠(yuǎn)得遠(yuǎn)得遠(yuǎn)得遠(yuǎn)…… 在芯片人看來(lái),自來(lái)水里面雜質(zhì)多到什么程度?就好比是一鍋粥! 于是,芯片行業(yè)需要對(duì)生產(chǎn)用水進(jìn)行苛刻的純化處理。 水純化***層次——去離子水(DIW,Deionized Water):采用物理、化學(xué)方法,去除溶于水中的電解質(zhì),獲得電阻率在0.1~10 MΩ·cm的水(真正純凈的水可被視為絕緣體,生活中的水導(dǎo)電,是因?yàn)槠渲杏须s質(zhì))。這個(gè)過(guò)程去除了水中的電解質(zhì),但溶于水中的非電解質(zhì)(如有機(jī)物、微生物、顆粒物、溶解性氣體等)大部分未被去除。 水純化第二層次——純水(PW,Pure Water): 采用物理、化學(xué)方法,去除了水中的幾乎全部電解質(zhì)與非電解質(zhì),且水中陽(yáng)離子和陰離子、有機(jī)物、顆粒物、微生物等含量受到一定控制。此時(shí),純水的電阻率在10~18.2 MΩ·cm(25℃),可以被視其為絕緣體了。 水純化第三層次——超純水(UPW,Ultra Pure Water):如果將水中陽(yáng)離子、陰離子、有機(jī)物、顆粒物、微生物都進(jìn)行嚴(yán)格控制,這還不算完,再對(duì)水中溶解氣體進(jìn)行嚴(yán)格控制,此時(shí)水的電阻率達(dá)到18.2 MΩ·cm(25℃)以上(接近理論值18.6 MΩ·cm,25℃時(shí))。 不幸的是,現(xiàn)在的高端芯片制造,正需要這個(gè)******的超純水。估計(jì)有人會(huì)納悶,芯片生產(chǎn)干嘛要對(duì)水質(zhì)提出這么苛刻的條件呢? 03 純水中的雜質(zhì),對(duì)芯片產(chǎn)品有哪些影響?
總之,水不夠純凈,就做不成合格的高端芯片。芯片越高端,所需純水的純度就越高。 |
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