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04 芯片制造所用純水,怎么制造? 從大的尺度說,分三個步驟:預(yù)處理、初***純化、拋光系統(tǒng)。 (1)預(yù)處理:MMF+ACF(常規(guī)處理方式)、MF+UF(新型處理方式) MMF:多介質(zhì)過濾器,可通俗理解成篩子; ACF:活性炭過濾器; MF:微濾,可通俗理解成細(xì)篩子; UF:超濾,可通俗理解成更細(xì)的篩子。 本段基本對應(yīng)前面說的“純化的***層次”,水中的細(xì)微顆粒等非電解質(zhì)基本被去除干凈了。 (2)初***純化:2B3T+RO+MB(常規(guī)處理方式)、二***RO+EDI(新型處理方式) 2B3T:兩床三塔,可通俗理解成家用終端凈水器; RO:反滲透膜,可通俗理解成更更細(xì)的篩子; EDI:連續(xù)電解除鹽,名字已經(jīng)夠通俗了。 本段基本對應(yīng)前面說的“純化的第二層次”,去除了水中的幾乎全部電解質(zhì)與非電解質(zhì),且水中陽離子和陰離子、有機(jī)物、顆粒物、微生物等含量受到一定控制。 (3)拋光系統(tǒng):UV+MB+MDG+UF UV:紫外線消毒; MB:混床; MDG:膜脫氣裝置,通過膜將溶解于水中的氣體脫除。 終端UF:終端超濾。 本段基本對應(yīng)前面說的“純化的第三層次”,水中陽離子、陰離子、有機(jī)物、顆粒物、微生物都得到了嚴(yán)格控制,就連水中的溶解氣體也被嚴(yán)格控制。這時的水幾乎純凈到了*** 05 上面這些設(shè)備,我國到底哪些做不好?
目前,這些技術(shù)設(shè)備均需向上述國外企業(yè)購買,假如沒有這些,我們就制造不出電阻率18.2 MΩ·cm(25℃)的超純水,進(jìn)而就制造不出高端芯片。各位看官明白為什么水會卡芯片的脖子啦。這事還不算完。 06 就算上面的全有了,我們還不能算成功 原因在于,即使我們制造出這樣的超純水,我們怎么輸送到每個芯片生產(chǎn)車間、機(jī)臺呢?需要管道,而普通管道內(nèi)壁會向水中溶出物質(zhì)的。你想想,那么純凈的超純水,溶入一點(diǎn)點(diǎn)物質(zhì),恐怕我們前面的努力都白費(fèi)了。而且,管道上還需要有閥門,泵送水也需要水泵加壓,同理,泵、閥的內(nèi)腔材料同樣要求嚴(yán)苛。
07 這還不算完…… 就算我們把上面的工藝設(shè)備、水泵、閥門、管道統(tǒng)統(tǒng)搞定了,還是不算完結(jié)。進(jìn)一步的問題在于,我們制出的超純水,如何知道它合格呢?如何知道其中各項(xiàng)指標(biāo)達(dá)標(biāo)了呢?對了,我們還需要超高精度的檢測儀表,好讓我們知道超純水是否合格。相應(yīng)的:
08 不要?dú)怵H,我們國產(chǎn)設(shè)備也一直在努力! 自建國以來,我國產(chǎn)業(yè)升***,是從農(nóng)業(yè)到輕工業(yè),再到重工業(yè),從勞動密集型到技術(shù)密集型,總體從低到高,不斷進(jìn)步的;仡櫼酝,我們征服了一座又一座看似不可逾越的山峰。芯片制造***域,也同樣是我們未來需要征服的一座“高峰”。近年來,我國的民族企業(yè)也在不斷進(jìn)步,杰出代表包括:
當(dāng)前我國正處于產(chǎn)業(yè)結(jié)構(gòu)調(diào)整的關(guān)鍵期,高端制造行業(yè)突破的根本,尤其需要基礎(chǔ)研究(材料學(xué)、基礎(chǔ)物理、基礎(chǔ)化學(xué),等)自力更生、扎實(shí)積累、創(chuàng)新突破!同時,工業(yè)水處理的重要性也異常凸顯。工業(yè)超純水,就如同 “工業(yè)血液”一般珍貴。 我們每一位水行業(yè)人,都應(yīng)懂得我們使命光榮,重任在肩! |
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